Предприятия Научного дивизиона госкорпорации «Росатом» (АО «Росатом Наука»), АО «НИИ НПО «ЛУЧ» и АО «Гиредмет» в рамках программы Минпромторга России «Развитие электронного машиностроения на период до 2030 года» выполнили приоритетные работы по созданию собственного производства особо чистых красного фосфора и оксихлорида фосфора. Эти вещества критически важны для производства компонентов (чипов, транзисторов, диодов, интегральных схем) на фабриках микроэлектроники.
«Ранее Россия импортировала более 80 % материалов из порядка 2,5 тысяч,
которые нужны для выпуска чипов, в том числе красный фосфор и оксихлорид
фосфора. Современные требования к содержанию основного вещества красного
фосфора для ионной имплантации – 99,9999 %. Производство красного фосфора такой
чистоты организуется в России впервые», — отметил директор по научным
государственным программам АО «Росатом Наука» Иван Мазилин.
Реализация проекта заняла около двух с половиной лет. Весь комплект
технологической документации подготовили специалисты «Гиредмета», а участок с
технологической линией организовали на площадке НИИ НПО «ЛУЧ» в Подольске,
запустив линию в 2025 году. Соединения фосфора вредны для человека, поэтому
техпроцесс максимально автоматизировали. В качестве сырья атомщики используют
технический красный фосфор, из него получают трихлорид фосфора, подвергают
многоступенчатой очистке и переводят в следующие продукты: оксихлорид фосфора,
триметилфосфат и высокочистый красный фосфор. Товарный особо чистый красный
фосфор — это гранулированный сыпучий материал, а чистый оксихлорид фосфора и
триметилфосфат получается в жидкой форме.
Приёмка госконтракта подтвердила качество продукции как соответствующее высокой степени чистоты: специалисты «Росатома» доказали возможность выпускать востребованную продукцию для удовлетворения спроса на отечественном рынке микроэлектроники. В настоящее время в Научном дивизионе ожидают получения сертификата СТ-1 и готовят заявку на включение веществ в реестр отечественной промышленной продукции. В дальнейшем, например, особо чистый оксихлорид фосфора может быть использован в химическом синтезе, при производстве солнечных панелей, а также при производстве оптического волокна.
Кроме того, одним из важных результатов выполненной работы является создание в Научном дивизионе «Росатома» центра компетенций по продуктам на основе особо чистого фосфора, способного как к решению новых научно-технических задач, так и к поставкам разработанной продукции.
Научный дивизион госкорпорации «Росатом» проводит новаторские
фундаментальные и прикладные исследования для разработки ядерных и неядерных
технологий (в том числе в сфере замыкания ядерного топливного цикла,
термоядерного синтеза, ядерной медицины); создаёт наукоёмкие технологии как для
нее, так и для других отраслей промышленности. Включает в свой состав 13
научно-исследовательских институтов и коммерческих компаний:
Научно-производственное объединение «ЛУЧ» (АО «НИИ НПО «ЛУЧ»), Государственный
научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической
промышленности» (АО «Гиредмет») и другие. Они располагают развитой
исследовательской инфраструктурой, а также собственным опытным производством,
способным полностью воплотить научный замысел: от фундаментальных исследований
до конструкторских разработок и опытных образцов. Большинство научных
исследований и разработок дивизиона выполняются в рамках Единого отраслевого
тематического плана. В сфере ответственности дивизиона — проведение испытаний,
создание высокотехнологичного медицинского оборудования, новых конструкционных
материалов. Реализуются проекты по коммерциализации перспективных наукоёмких
технологий.
Перед российской промышленностью стоит цель в кратчайшие сроки обеспечить технологический суверенитет и переход на новейшие технологии. Государство и крупные отечественные компании направляют ресурсы на ускоренное развитие отечественной исследовательской, инфраструктурной, научно-технологической базы. Внедрение инноваций и нового высокотехнологичного оборудования позволяет «Росатому» и его предприятиям занимать новые ниши на рынке, повышая конкурентоспособность атомной отрасли и российской промышленности в целом.
